徕卡RES 102多功能离子减薄仪

主要

功能

对样品薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。

设备组成

RES 102主机、一体机控制机器、真空系统、离子源发生系统。