设备组成:激光器,显微镜系统,样品台,控制器,计算机系统 设备功能: 1、超高分辨率,分辨率达到0.1-0.2 μm。 2、超大景深,采用共轭成像原理,对样品表面进行点扫描成像,扩展了光学显微镜的景深,对于样品表面比较粗糙的样品可以获得高清晰图像。 3、可获取样品表面的三维形貌信息,样品无需制备,并可实现表面高度、体积、角度等几何参数测量。 4、可获取样品表面粗糙度信息。 5、具有图像拼接功能,可对大面积试样进行全貌分析。 6、可按照时间维度对样品表面的变化进行追踪扫描成像,获取样品表面的动态信息。 |